С длиной электронно-оптического пути равной примерно 506 мм. Для того чтобы дать прогноз, аналитики и брокеры используют публичные финансовые отчеты организаций, ведут диалог с работниками и клиентами компаний. В конечном счете появляется решение, которое отмечено на графике, где показаны мнения аналитиков в разные периоды времени.
- Эта система определяет координаты прикрепленного к центру диска очень точного кольцевого зеркала (Ring Mirror).
- Для технологии KLA-Tencor эта скорость составляет порядка 3-10 м/с.
- Разрабатывает, производит и продает решения по управлению процессами и управлению доходами для полупроводниковой и смежных отраслей наноэлектроники.
- Пришлось решать ряд проблем с взаимовоздействием лучей в соседних зеркалах при включении-выключении, слабым контрастом зеркал из-за разброса электронов по энергиям, слабо изученными микро-линзовыми эффектами.
- Причем раздельное управления осуществили только 248 колонками по 4096 микро-зеркал.
Существенное отличие 2-го поколения системы заключается в том, что электронная пушка (Electron Gun) была перемещена из верхней части колоны на боковую сторону. А Цифровой Генератор Шаблонов (Digital Pattern Generator) помещен сверху колоны. Осуществляется электростатическим дефлектором (Beam Bender), а расщепление траекторий в сторону Цифрового Генератора Шаблонов и в сторону стола осуществляется фильтром Wien (EXB filter). Фильтр Wien доворачивает поток из электронной пушки на 15гр., а пучок лучей, отраженный от зеркал, не меняет направления, по причине компенсации отклоняющих сил магнитного и электростатического поля.
KLA-Tencor
Исследователи из KLA предложили оригинальное решение – использовать не пластину с отверстиями, а пластину с электронными микро-зеркалами. Управление микро-зеркалами можно перенести на заднюю сторону и тем самым сэкономить на промежутках между ними. KLA-Tencor удалось создать массив из миллиона микро-зеркал диаметром каждого 1.4 мкм и шагом 1.6 мкм. Действительно, столь ценный ресурс, как излученные электроны расходуется совершенно нерационально. После излучения и создания однонаправленного потока (коллимирования), электроны попадают на пластину с массивом отверстий (апертурную пластину).
Разрабатывает, производит и продает решения по управлению процессами и управлению доходами для полупроводниковой и смежных отраслей наноэлектроники. форекс для чайников Магнитный подвес стола позволил реализовать самобалансировку системы. Столь странное решение в виде вращающегося стола объясняется двумя причинами.
Отклонение луча на 100 мкм вызовет существенную дефокусировку, поэтому стол должен двигаться со значительной для механических систем линейной скоростью (по ширине 6.2 мкм реализуется полутоновая засветка). Для технологии quik терминал скачать эта скорость составляет порядка 3-10 м/с. Координатные столы с возвратно-поступательным движением будут испытывать значительные ускорения (до 20G).
Поводив курсором, можно проследить, в какие даты менялись рекомендации. И, как было сказано выше, технология не шагнула за стены лаборатории. Довольно заметной характеристикой уровня развития технологии, является отсутствие какой-либо информации о борьбе авторов с загрязнением вакуума от испарений электронрезиста macd индикатор (фоторезиста). Это говорит о том, что количество часов работы экспериментальных установок очень небольшое (вакуум не успевает загрязниться), и авторы еще не столкнулись с этой проблемой. Вторая часть – это поворотный энкодер, измеряющий угловое положение диска относительно «системы».
Такая электронно-оптическая система имеет довольно протяженную траекторию электронов, равную примерно 1540 мм. На такой длиной траектории трудно удержать электронный поток от «расползания» из-за сил Кулоновского расталкивания. Создание такой матрицы из микро-зеркал оказалось довольно сложной задачей и заняло порядка 3-х лет, так как электронные зеркала не имели широкого практического применения и их теория разработана очень слабо.
Микро-зеркала представляли из себя стопку из 5-ти проводящих слоев разделенных изоляционными слоями. Таким образом каждое микро-зеркало было фактически микро-линзой в виде «чашки», дно которой являлось отражающей поверхностью. Если к этой поверхности прикладывалось положительное напряжение – зеркало поглощало поток электронов. Если отрицательное – электроны меняли направление движения на противоположное. В итоге на экспериментальной установке использовалась матрица с 1’015’808 микро-зеркалами (4096х248). Размер чипа был порядка 25х27 мм в центре которого массив зеркал занимал площадь с размерами 6.5х0.4 мм.
KLA-Tencor — революция в много-лучевой электронной литографии
Диск (Platter Assembly) диаметром чуть более 1 метра установлен на ступице с магнитной подвеской. Технология от KLA-Tencor – самый изощренный представитель электронно-многолучевой литографии. Инвестору нельзя следовать только рекомендациям аналитиков.
KLA-Tencor KLAC
Пришлось решать ряд проблем с взаимовоздействием лучей в соседних зеркалах при включении-выключении, слабым контрастом зеркал из-за разброса электронов по энергиям, слабо изученными микро-линзовыми эффектами. Эта система определяет координаты прикрепленного к центру диска очень точного кольцевого зеркала (Ring Mirror). Во время записи стол вращается и линейно перемещается так, что пучок лучей образует спиральную траекторию на столе от края к центру, как на грампластинке. Чтобы использовать зеркала электронно-оптическая система должна довольно существенно отличаться от классической. Создав вращающийся стол для 6-ти пластин, появляется возможность размещения над столом нескольких электронно-лучевых колон ведущих одновременную запись, что кратно увеличивает производительность единичной установки.
Например, у IMS расстояние между соседними лучами составляет порядка 160 нм и система засветив пятно 20х20 нм отклоняет луч на соседнее поле 20х20 нм, так происходит пока все промежутки между лучами не будут засвечены. У Mapper дистанция засветки между соседними лучами составляет 2000 нм. Это позволяет использовать довольно медленно двигающийся координатный стол.
О компании KLA-Tencor
Причем, площадь занимаемая отверстиями, значительно меньше общей площади пластины и электроны просто гасятся на ней. Например, у IMS пластина имеет отверстия 4х4 мкм с шагом 32 мкм, т.е. Расход электронов просто расточительный, на один излученный электрон мы имеем 64 балластных! Это объясняется тем, что между отверстиями нужно размещать отклоняющие электроды и систему управления этими электродами. Технология многолучевой электронной литографии от KLA-Tencor, позволяет преодолеть довольно существенный барьер, ограничивающий производительность, получаемую от единичного источника электронов, и соответственно, от единичной установки. Однако, преодоление этого барьера повлекло за собой довольно существенное усложнение технологии.
Финансовая отчётность — KLA-Tencor
В 1-м поколении поток электронов (синий на схеме) из электронной пушки (Electron Gun) с помощью магнитной призмы (Magnetic Prism) направляется в сторону Цифрового Генератора Шаблонов (Digital Pattern Generator). С помощью системы объектной оптики (Objective Optics) энергия электронов снижается до 1 эВ, что позволяет отрицательным потенциалом в 1-2 В на массиве зеркал отразить падающий поток электронов в обратную сторону. Если же к зеркалу приложить небольшой положительный потенциал – электроны из потока будут поглощены зеркалом. Зеркала представляют из себя массив изолированных МЭМС элементов диаметром 1,4 мкм с шагом 1,6 мкм. Таким образом, из общего потока формируется пучок отраженных лучей (оранжевый на схеме), которые магнитной призмой поворачиваются в сторону проекционной оптики (Projection Optics). Проекционная оптика масштабирует (уменьшает) пучок лучей в 50 или более раз и проецирует на вращающийся стол (Multiple Wafer Rotary Stage).
Прогнозы используются как дополнение к уже устоявшимся стратегиям и планам. Считается плохой практикой, если инвестор работает только по графику рекомендаций. Отчеты аналитиков должны использоваться только вместе с собственной аналитикой. KLA-Tencor разрабатывает оборудование и технологические решения, предназначенные для повышения скорости внедрения инноваций в электронную промышленность. Причем раздельное управления осуществили только 248 колонками по 4096 микро-зеркал. Такое управление – это результат упрощения задачи, чтобы не создавать управляющую КМОП структуру, а обойтись только слоем металлизации.
Najnoviji komentari